四氟化锗Germanium tetrafluoride 4N

Components （组分）

Specification规格

Germanium Tetrafluoride (GeF4) 四氟化锗

≥ 99.99%

Nitrogen（N2）氮气

≤ 10ppmv

Oxygen +Argon(O2+Ar) 氧气+氩气

≤ 10ppmv

Carbon Monoxide（CO）一氧化碳

≤ 10ppmv

Carbon Dioxide（CO2）二氧化碳

≤ 10ppmv

Sulfur Dioxide （SO2）二氧化硫

≤ 10ppmv

Hydrogen Fluoride（HF）氟化氢

≤ 15ppmv

72Ge Isotopic Concentration丰度

≥ 55%

包装规格

气瓶大小 Cylinder Size

8L

充装量 Fill Weight (kgs)

10

尺寸 Cylinder Dimensions(cm)

Ф17.8×45

阀门 Valve Connection

GCA330

保质期 Shelf Life

2year