乙硼烷5.0N

乙硼烷Diborane 5.0N

组分 Components

规格 Specification

乙硼烷 Diborane(B2H6)

99.999%

Nitrogen (N2) 

2 ppmv

Oxygen (O2) 

0.5 ppmv

二氧化碳 Carbon Dioxide (CO2)

2 ppmv

甲烷 Methane (CH4) 

4 ppmv

Hydrogen (H2) 

100 ppmv

Water (H2O)

0.1 ppmv

三氟化硼 Boron Trifluoride(BF3)

50 ppmv

Teraborane(B4H10)

180 ppmv

Pentaborane(B5H9)

10 ppmv

Pentaborane(B5H11)

10 ppmv

Hexaborane(B6H10)

10 ppmv