乙硼烷5.0N

乙硼烷 5.0N                     Diborane   5.0N
组分                                  Components 规格  Specification
乙硼烷                               Diborane(B2H6) 99.999%
氮                                      Nitrogen (N2)  ≤2 ppmv
氧                                      Oxygen (O2)  ≤0.5 ppmv
二氧化碳                           Carbon Dioxide (CO2) ≤2 ppmv
甲烷                                  Methane (CH4)  ≤4 ppmv
氢                                      Hydrogen (H2)  ≤100 ppmv
水                                      Water (H2O) ≤0.1 ppmv
三氟化硼                           Boron trifluoride(BF3) ≤50 ppmv
丁硼烷                               Teraborane(B4H10) ≤180 ppmv
戊硼烷                               Pentaborane(B5H9) ≤10 ppmv
戊硼烷                               Pentaborane(B5H11)
≤10 ppmv
产品用途:用于半导体、太阳能电池等领域