乙硼烷混氮气

乙硼烷混氮气                  B2H6/N2 Mixture
组分                                Components 含量  Content
乙硼烷                             B2H6, 5N ≥0.1% 
氮                                    N2,6N Balance (平衡气)
组分                                 Components 规格  Specification
乙硼烷                             Diborane(B2H6)5N 99.999%
氮                                    Nitrogen (N2) ≤2 ppmv
氧                                    Oxygen (O2) ≤0.5 ppmv
二氧化碳                         Carbon Dioxide (CO2) ≤2 ppmv
甲烷                                Methane (CH4) ≤4 ppmv
氢                                    Hydrogen (H2) ≤100 ppmv
三氟化硼                         Boron trifluoride(BF3) ≤ 50ppmv
丁硼烷                             Teraborane(B4H10) ≤180 ppmv
戊硼烷                             Pentaborane(B5H9) ≤10 ppmv
戊硼烷                             Pentaborane(B5H11)
≤10 ppmv
氮                                    Nitrogen(N2)6N 99.9999%
水                                    Water(H20) ≤0.5 ppmv
氧+氩                              Oxygen+Argon (O2+Ar) ≤0.5 ppmv
甲烷                                Methane (CH4) ≤0.1 ppmv
氢                                    Hydrogen (H2) ≤0.1 ppmv
一氧化碳                         Carbon Monoxide (CO) ≤0.1 ppmv
二氧化碳                         Carbon Dioxide (CO2) ≤0.1 ppmv
包装规格
钢瓶规格                         Cylinder Size
 47L
充装量                             Fill Weight (kgs)
 100 bar
阀门                                Valve Connection
 CGA350/DISS632
尺寸                                Cylinder Dimensions(cm)
 23x140
产品用途:用于半导体、太阳能电池等领域