乙硼烷混氢气

乙硼烷混氢气                          B2H6/H2 Mixture
组分                                        Components  含量  Content
乙硼烷                                     B2H6, 5N       ≥0.1%
氢                                            H2,6N
Balance(平衡气)
组分                                        Components
规格  Specification
乙硼烷                                     Diborane(B2H6)5N 99.999%
氮                                            Nitrogen (N2) ≤2 ppmv
氧                                            Oxygen (O2) ≤0.5 ppmv
二氧化碳                                  Carbon Dioxide (CO2) ≤2 ppmv
甲烷                                         Methane (CH4) ≤4 ppmv
氢                                            Hydrogen (H2) ≤100 ppmv
三氟化硼                                  Boron trifluoride(BF3) ≤ 50ppmv
丁硼烷                                     Teraborane(B4H10) ≤180 ppmv
戊硼烷                                     Pentaborane(B5H9) ≤10 ppmv
戊硼烷                                     Pentaborane(B5H11) ≤10 ppmv
氢气                                         Hydrogen(H2)6N     99.9999%
水                                            Water(H20) ≤0.5 ppmv
氧                                            Oxygen (O2) ≤0.5 ppmv
氮                                            Nitrogen (N2) ≤0.5 ppmvv
总碳氢化合物如甲烷                Total Hydrocarbons as Methane (CH4)
≤0.1 ppmv
一氧化碳                                  Carbon Monoxide (CO) ≤0.1 ppmv
二氧化碳                                  Carbon Dioxide (CO2) ≤0.1 ppmv
包装规格
钢瓶规格气瓶大小                    Cylinder Size  47L
充装量                                     Fill Weight (kgs)  100 bar
阀门                                         Valve Connection  CGA350/DISS632
钢瓶尺寸                                  Cylinder Dimensions(cm)  23x140
产品用途:用于半导体、太阳能电池等领域