乙硼烷混氦气

乙硼烷混氦气                 B2H6/He Mixture
组分                               Components 含量  Content
乙硼烷                            B2H6, 5N ≥0.1%
氦                                   He,6N
Balance (平衡气)
组分                               Components
规格  Specification
乙硼烷                            Diborane(B2H6)5N
99.999%
氮                                   Nitrogen (N2) ≤2 ppmv
氧                                   Oxygen (O2) ≤0.5 ppmv
二氧化碳                        Carbon Dioxide (CO2)
≤2 ppmv
甲烷                               Methane (CH4) ≤4 ppmv
氢                                  Hydrogen (H2) ≤100 ppmv
三氟化硼                        Boron trifluoride(BF3) ≤ 50ppmv
丁硼烷                           Teraborane(B4H10) ≤180 ppmv
戊硼烷                           Pentaborane(B5H9) ≤10 ppmv
戊硼烷                           Pentaborane(B5H11)
≤10 ppmv
氦                                  Helium(He)6N     99.9999%
水                                  Water(H20) ≤0.5 ppmv
氧                                  Oxygen (O2) ≤0.5 ppmv
氮                                  Nitrogen (N2) ≤0.5 ppmvv
甲烷                              Methane (CH4) ≤0.1 ppmv
一氧化碳                       Carbon Monoxide (CO) ≤0.1 ppmv
二氧化碳                       Carbon Dioxide (CO2) ≤0.1 ppmv
包装规格
钢瓶规格                       Cylinder Size  47L
充装量                           Fill Weight (kgs)  100 bar
阀门                              Valve Connection  CGA350/DISS632
钢瓶尺寸                       Cylinder Dimensions(cm)  23x140
产品用途:用于半导体、太阳能电池等领域