乙硼烷混氩气

乙硼烷混氩气                                 B2H6/Ar Mixture
组分                                               Components 含量  Content
乙硼烷                                            B2H6, 5N       ≥0.1% 
氩                                                   Ar,6N Balance (平衡气)
组分                                               Components
规格  Specification
乙硼烷                                            Diborane(B2H6)5N 99.999%
氮                                                    Nitrogen (N2) ≤2 ppmv
氧                                                   Oxygen (O2) ≤0.5 ppmv
二氧化碳                                        Carbon Dioxide (CO2) ≤2 ppmv
甲烷                                               Methane (CH4) ≤4 ppmv
氢                                                   Hydrogen (H2) ≤100 ppmv
三氟化硼                                         Boron trifluoride(BF3) ≤ 50 ppmv
丁硼烷                                            Teraborane(B4H10) ≤180 ppmv
戊硼烷                                            Pentaborane(B5H9) ≤10 ppmv
戊硼烷                                            Pentaborane(B5H11) ≤10 ppmv
氩                                                   Argon(Ar)6N       99.9999%
氮                                                   Nitrogen (N2) ≤0.5 ppmv
水                                                   Water(H20) ≤0.5 ppmv
氧                                                   Oxygen (O2) ≤0.5 ppmv
总碳氢化合物如甲烷                       Total Hydrocarbons as Methane (CH4)
≤0.1 ppmv
一氧化碳                                         Carbon Monoxide (CO) ≤0.1 ppmv
二氧化碳                                         Carbon Dioxide (CO2) ≤0.1 ppmv
包装规格
气瓶大小                                         Cylinder Size  47L
充装量                                             Fill Weight (kgs)  100 bar
阀门                                                Valve Connection  CGA350/DISS632
尺寸                                                Cylinder Dimensions(cm)  23x140
产品用途:用于半导体、太阳能电池等领域